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洁净室等级标准

洁净室等级标准和国际标准ISO14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:

空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试;静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试;动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试,洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

检测前,应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。

测试内容:总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;洁净室压力值;层流洁净室断面风速和气流流向;洁净工作区的洁净度;室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;洁净室内噪声。

洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数法。

三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。

等级标准对照表

 
空气洁净度等级
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
 
 
 
 
 
 
 
 
2
100
24
10
4
 
 
 
 
3
1000
237
102
35
8
 
 
 
4(十级)
10000
2370
1020
352
83
 
 
5(百级)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千级)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(万级)
 
 
 
 
 
 
352000
83200
2930
8(十万级)
 
 
 
 
 
 
3520000
832000
29300
9(一百万级)
 
 
 
 
 
 
35200000
8320000
293000
 
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